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单晶硅生长炉:KX100、KX150、KX260 ;太阳能硅单晶生长炉:KX100PV 、KX120PV。
单晶硅炉主要型号
主要型号:单晶硅生长炉:KX100、KX150、KX260 ;太阳能硅单晶生长炉:KX100PV 、KX120PV。
(1)KX100单晶硅生长炉
KX100单晶硅生长炉适用于主要用来生产太阳能和低阻值的电子级单晶硅棒。
主要参数:单晶硅棒直径:150~200 mm (6~8″)适用于6英寸和8英寸单晶支持,最大硅投料量115 kg。
(2)KX150单晶硅生长炉
KX150单晶硅生长炉为8英寸硅片提供解决方案,包括太阳能级和半导体级。
主要参数:单晶硅棒直径:200 mm (8″),最大硅投料量150 kg。
(3)KX260单晶硅生长炉
KX260单晶硅生长炉为大直径硅片工艺提供理想解决方案,最大单晶硅棒直径达400 mm,是300 mm 单晶硅棒的低成本可行方案。
主要参数:单晶硅棒直径:200~400 mm (8~16″),最大硅投料量240 kg。
(4)KX100PV太阳能硅单晶生长炉
KX100PV太阳能硅单晶生长炉主要特点是太阳能硅产量最大化,成本最小化。
主要参数:单晶硅棒直径:150~200 mm (6~8″),最大硅投料量115 kg。
(5)KX120PV太阳能硅单晶生长炉
KX120PV太阳能硅单晶生长炉为8英寸太阳能级硅片优化设计设备。
主要参数:单晶硅棒直径:155~230 mm (6~9″),最大硅投料量115 kg。
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