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关 键 词：通化四平沈阳阜新光刻
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发布时间：2008-11-06
我们供通化四平沈阳阜新光刻机
四川南光泵业有限公司是在国企改制过程中，由原百年老军工企业-成都国营南光机器厂的部分中青年高级工程师、高级技师、营销及生产骨干重新组合后成立的一家新型公司。
公司专业从事系列精密光刻机、氢气炉、真空炉、超高真空排气台、真空干燥柜.真空镀膜机、真空泵及真空机组的设计、制造和销售。驻杭州办事处：0571-63770986,公司董事长:陈宝融,总经理:刘丹毅
一、适用范围
适用于Φ100mm以下，厚度为5mm以下各种基片的光刻。（包括非常规基片、碎片及表面不平整基片）
二、主要技术指标
1、对准精度：±0.5μm。
2、微动台扫描范围±20mm，X、Y可调范围±4mm。
3、承片台上下可移动范围为5mm，旋转角度最大为90°。
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G-17型光刻机
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222
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精装
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90
