供应风量试验机,风机性能试验台,风量试验

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行 业：教育装备 专用仪器仪表 试验机 

发布时间：2010-04-25

风速风向是气象资料中非常重要的部分，其测量在气象预报、环境监测与控制等方面有着重要的应用。传统的测量方法主要应用风杯来测量风速，风向标测量风向。这些机械装置体积较大，价格昂贵，而且具有移动部件需要经常维护。
近20年来，MEMS的发展为流量传感器的发展带来了新的突破。与传统的流体测量装置相比，热流量传感器具有体积小、成本低等优点，是目前流体测量的发展方向。在目前见诸于报道的热流量传感器中，绝大部分都采用了标准IC工艺在硅衬底上加工。然而，硅具有很高的热导率，及利用体硅芯片实现的热温差风速风向传感器灵敏度不高。利用MEMS后处理工艺，包括正面腐蚀和背面腐蚀，可以提高灵敏度。但是腐蚀后的薄膜和梁结构都比较脆弱，给封装等后道工序带来了不便。
本文提出一种基于MEMS工艺的热流量传感器，如图1所示。该传感器采用恒功率工作方式，利用热温差原理测量风速和风向。芯片的加热与测温Pt电阻都采用圆形对称结构，以提高风向测量的精度。该传感器在玻璃衬底上利用两步金属剥离工艺即可以完成芯片加工，结构健壮，灵敏度高，对风速风向传感器的产业化具有现实意义。