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关 键 词：西安宝鸡汉中武汉光刻
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发布时间：2008-07-10
四川成都光刻机适用于?100mm以下，厚为0～5mm各种基片的曝光。% D%A 2、四川成都光刻机由于采用了高均匀性的多点光源曝光头，非 常理想的三点找平机构，稳定可靠的真空压紧曝光，使本机的曝光分 辨率和曝光均匀性都大为提高。%D%A 3、四川成都光刻机版不动，片 动的对准方式，保证了导轨自重和受力方向的一致性，加之承片台升 降采用无间隙滚珠直进导轨和三点式找平机构的成功应用，使本机漂 移特小，对准精度高，对准速度快。%D%A 4、四川成都光刻机电控采 用PLC控制，各主要元件（如电磁阀等）采用进口件，高稳
