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其原理就是，在不断的化学变化中工件表面生成一种化学膜，同时由于旋转机械摩擦切除作用去除这一层化学膜，在不停地交替中获得超精密表面，这种超精密表面加工也被称为游离磨料的CMP，在这种加工中，不能选用比工件硬度高地磨粒，只能选用硬度比工件软或是与之相当的磨粒，在机械与化学的双重作用下，工件表面不断生成一层极薄的化学膜，同时又被切除，达到极薄表面的加工，所以可以实现高精度、低表面粗糙度、无表面加工缺陷的工件表面。
两者的作用不一样，那么，除了以上的这些差异和共性外，研磨液和抛光液还有些什么区别呢?，所含的主要化学物质不一样，颗粒大小不一样，抛光液所含的化学颗粒是非常细的，达到纳米粒径，研磨液多为微米粒径，两者颜色不一样，抛光液多为白色，或者透明，硬质合金的特点：硬质合金是以高硬度难熔金属的碳化物(WC、TiC)微米级粉末为主要成分，以钴(Co)或镍(Ni)、钼(Mo)为粘结剂，在真空炉或氢气还原炉中烧结而成的粉末冶金制品。
简单讲，研磨液就是在平面研磨机上做一道粗磨和第二道精磨时使用的液体，而抛光液是在第三道或者第二道精细抛光中才使用的，两者使用时间和工序不一样，研磨液是用来研磨，抛光液是用来抛光，具体来说，研磨液是用来将工件表面磨平整的，抛光液是用来提升工件表面光亮度的，其原理就是，在不断的化学变化中工件表面生成一种化学膜，同时由于旋转机械摩擦切除作用去除这一层化学膜，在不停地交替中获得超精密表面，这种超精密表面加工也被称为游离磨料的CMP。
