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其原理就是，在不断的化学变化中工件表面生成一种化学膜，同时由于旋转机械摩擦切除作用去除这一层化学膜，在不停地交替中获得超精密表面，这种超精密表面加工也被称为游离磨料的CMP，在这种加工中，不能选用比工件硬度高地磨粒，只能选用硬度比工件软或是与之相当的磨粒，在机械与化学的双重作用下，工件表面不断生成一层极薄的化学膜，同时又被切除，达到极薄表面的加工，所以可以实现高精度、低表面粗糙度、无表面加工缺陷的工件表面。
这道工序主要通过白布进行粗抛并导角的过程，那在这个过程中有三点要注意：一就是压重,压重太轻,铁盘的痕根本就抛不掉,具体压重量视工件硬度情况而定，二就是这产品要导角,那么需要在白布下面垫上一块软皮,这样有助于导角,但是软皮不能太软，在平面抛光机加工中，选择合理的运动方式以及抛光轨迹是极为重要的一步,抛光运动中较主要的是在于实现磨料的切削运动,因此运动状况的好坏，将会直接影响抛光加工时的精度以及生产的效率。
简单讲，研磨液就是在平面研磨机上做一道粗磨和第二道精磨时使用的液体，而抛光液是在第三道或者第二道精细抛光中才使用的，两者使用时间和工序不一样，研磨液是用来研磨，抛光液是用来抛光，具体来说，研磨液是用来将工件表面磨平整的，抛光液是用来提升工件表面光亮度的，其原理就是，在不断的化学变化中工件表面生成一种化学膜，同时由于旋转机械摩擦切除作用去除这一层化学膜，在不停地交替中获得超精密表面，这种超精密表面加工也被称为游离磨料的CMP。
