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为了降低靶及靶座的温度，要给靶座不断通入冷却水，水冷系统，一般由冷水塔，冰水机，水泵等组成，真空镀膜机都离不开以上的任何一个零件，有这些零件一台真空镀膜机才算完整，才能正常的运行，真空镀膜表面的清洁非常重要，直接影响镀膜产品的质量，进入镀膜室前，电镀前必须仔细清洁工作部件，表面污染来自附着在工作部件上的各种物质，如灰尘、润滑油、油、抛光膏和油，为了避免加工过程中的缺陷，真空涂料制造商基本上可以通过脱脂或化学清洗来去除。
离子镀基本原理：在真空条件下，采用某种等离子体电离技术，使镀料原子部分电离成离子，同时产生许多高能量的中性原子，在被镀基体上加负偏压，这样在深度负偏压的作用下，离子沉积于基体表面形成薄膜，离子镀的工艺过程：蒸发料的粒子作为带正电荷的高能离子在高压阴极（即工件）的吸引下，以很高的速度注入到工件表面，带正电荷的氩离子受阴极负高压的吸引，猛烈地轰击工件表面，致使工件表层粒子和脏物被轰溅抛出，从而使工件待镀表面得到了充分的离子轰击清洗。
真空镀钛应用效果，紧密冲压模具经真空镀钛涂覆后外貌可拥有极低的摩擦系数，淘汰加工受力，模具经镀钛涂覆后外貌硬度可提高到倍，可大幅淘汰外貌磨耗，特别是用于高紧密加工时可得到很是优异的外貌质量，蒸发镀膜与真白手套箱组合，实现蒸镀、封装、测试等工艺全关闭建造，使整个薄膜发展和器件制备进程高度集成在一个完整的可控情况气氛的系统中，消除有机大面积电路制备进程中大气情况中不不变因素影响，保障了高机能、大面积有机光电器件和电路的制备。
