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行 业：咨询
发布时间：2022-05-30
3、 检测点的布置
根据中华人民共和国GBJ73-84《洁净厂房设计规范》的规定在对净化车间进行洁净度检测时检测点应为距室内地坪1.00m的水平面内;对于单向流型净化车间测点总数应不小于20点测点间距为0.5-2.0m。水平单向流测点仅布置在第净化车间工作区内;非单向流净化车间按净化车间面积小于或等于50m2布置5个测点。
4、 关于等动力采样的问题
所谓等动力采样就是在检测时粒子的计数器的采样管的入口方向与被采样的单向气流方向相一致而且空气进入取样管入口的平均速度与该位置单向气流的平均速度相同。 因为对净化工程的检测我们主要关心两种粒径即0.5um和5um。非等动力采样对于≤0.5um的粒子影响不大。如果取样空气用于计算大于或等于0.5um 的粒径浓度如果这些粒子不受非等动力条件的影响则计算结果也不受影响。因此净化车间区域内的非等动力取样仅对大于或等于0.5um粒子才有意义。
——空气过滤器检漏方法——
PAO/DOP过滤器检漏
气胶光度计测试法是早期的测试方式，但是因为效果非常好，百级洁净室换气次数，到今天仍旧沿用。气胶光度计（Aerosol Photometer）是微粒计数器的一种，也是使用雷射科技，但是它在扫描空气样本的微粒之后，所给的是微粒的总体强度，不是微粒数目。DOP是一种油性化学物质，加压或加热雾化之后，可以产生次微米等级的微粒，可用来无尘室的微粒，制药洁净室换气次数，因此被当成验证微粒。
1 泄漏的定义是泄漏出上游浓度万分之一，由于气胶光度计可以直接显示上下游微粒浓度的比值，因此扫描滤网非常方便。也正因其准确、可靠，江苏洁净室换气次数，美国食品与药品管制局（FDA）规定，在其管辖范围内（食品加工场所与制药场所），所有的滤网泄漏测试必须使用DOP与气胶光度计。近年来由于人们怀疑DOP会导致，因此多改用PAO。PAO和DOP的特性类似，使用上无多大差异。
——高空气过滤器检漏检测方法——
气溶胶光度计测试法
气胶光度计测试法是早期的测试方式，但是因为效果非常好，到今天仍旧沿用。气胶光度计（ Aerosol Photometer ）是微粒计数器的一种，也是使用雷射科技，但是它在扫描空气样本的微粒之后，所给的是微粒的总体强度，不是微粒数目。 DOP 是一种油性化学物质，现改用PAO，加压或加热雾化之后，可以产生次微米等级的微粒，可用来模拟无尘室的微粒，因此被当成验证微粒。 微粒计数器测试法
半导体业方面，早期也是使用 DOP/PAO 与气胶光度计，但是随着制造精密度增加，油性挑战微粒逐渐不容许在无尘室使用，因此出现使用干式灰尘当成挑战微粒，在上游施放，然后用微粒计数器在下游扫描，实验动物洁净室换气次数，寻找泄漏，基本概念完全相同。经过科学家一步步研究结果，发现 PSL 因为微粒的粒径与浓度可以控制，因此是目前为使用的标准微粒。使用时只要把 PSL 溶液雾化，导入滤网上游即可
