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DLC涂层是一种非晶态薄膜,由于具有高硬度和高弹性模量,低摩擦因数,耐磨损以及良好的真空摩擦学特性,很适合于作为耐磨涂层来应用,主要应用于铣刀、钻头、光盘模具、切削刀具以及其他加工工具等。四川DLC涂层常用的制备方法有真空沉积法和液相沉积法,细分的话可以分为磁控溅射、离子束沉积等。在制备过程中,沉积温度对于DLC涂层的性能有着重要的影响。下面给大家分享一下沉积温度对DLC涂层的影响:
一、对DLC涂层硬度的影响
随着沉积温度的升高,DLC涂层硬度呈现先加大后减小的变化趋势,当沉积温度为40℃时,涂层硬度达到峰值。
这是因为在适宜的电解环境下(40 ℃左右)形成的DLC涂层由较多的非晶碳组成,随着沉积温度的升高沉积在Si基底上的DLC涂层中的非晶碳部分转化为石墨碳,而石墨碳质地较软,故而在较高沉积温度下制备的类金刚石薄膜硬度快速下降。
二、对DLC涂层表面粗糙度的影响
随着沉积温度的升高DLC涂层的表面粗糙程度逐渐降低,当温度升至40℃时涂层的粗糙程度至低,随着温度的继续升高DLC涂层的表面粗糙程度骤然变大。
这是由于沉积温度在20~40℃范围内升高的过程中,随温度的升高Si基体表面逐渐形成越来越密集的类金刚石碳膜使其表面越来越平整光滑,粗糙程度下降。数据显示,在反应温度为40℃时所制备的DLC薄膜表面光滑,粗糙度至小。
四川DLC涂层沉积所用电解液多是易挥发性溶液,随着温度升高,挥发速率加快,电解过程中碳源不足,导致沉积的碳膜中的碳大部分以石墨碳形式存在;随着温度的继续升高,在60℃时接近溶液的沸点,所沉积的DLC涂层表面更为粗糙。
三、对DLC涂层耐磨性的影响
不同沉积温度下制备的DLC涂层,在干摩擦条件下的摩擦系数存在较大差异。随着沉积温度的升高,DLC涂层的摩擦系数逐渐变小,在40℃时取得至小值(平均摩擦系数为0.765),此时涂层的耐磨性至强。
四、对DLC涂层表面形貌的影响
沉积温度为40℃时所制备的DLC涂层表面连续致密、平整光滑、无明显的裂纹和空洞存在、且无局部团聚现象。
以上便是沉积温度对四川DLC涂层的影响,大家可以了解一下,想要了解更多内容或需要的朋友欢迎来电咨询我司。