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发布时间：2022-05-12
扫描电子显微镜对我们来说似乎有点陌生，但它存在于我们的生活中。我们需要进一步了解它，才能更好地利用它为人类创造价值。扫描电子显微镜由三部分组成：真空系统、电子束系统和成像系统。下面提到的扫描电子显微镜的地方，都用SEM代替。
成像系统和电子束系统均内置于真空柱中。真空柱的底部是密封室，也就是放置样品的地方。
之所以采用真空，主要基于以下两个原因：
电子束系统中的灯丝在普通大气中会很快氧化失效，所以使用SEM时除了真空外，通常还需要用纯氮气或惰性气体充满整个真空柱。
为了增加电子的平均自由程，使更多的电子用于成像。
扫描电镜如何制样？
1.块体样品。直接可以用导电胶粘在样品台上测试，若需拍块体或者薄膜截面，需明确截面制备方法，一般可以通过剪刀裁剪或者液氮脆断两种方式来制备样品。
2.液体样品。用移液取样品超声后的悬浊液，滴一滴于硅片、锡纸或铝箔上，自然风干、烘箱烘干或者红外灯烘干即可，烘干后将硅片、锡纸或铝箔用导电胶粘在样品台上测试。
3.粉末样品。方式一是直接用导电胶粘在样品台上测试；方式二是乙醇分散制样，球差电镜测试费用，取少量样品于离心管中，韶关球差电镜测试，加入一定量无水乙醇或者水，室温超声五到十分钟，超声后采用液体的制样方式制样即可。
电子显微镜是根据电子光学原理，利用电子束和电子透镜代替光束和光学透镜，球差电镜测试中心，从而可以在很高的放大倍数下对物质的精细结构进行成像的一种仪器。
电子显微镜的分辨能力用它所能分辨的两个相邻点之间的zui小距离来表示。1970年代，球差电镜测试机构，透射电子显微镜的分辨率约为0.3纳米（人眼的分辨率约为0.1毫米）。
目前电子显微镜的zui大放大倍数在300万倍以上，而光学显微镜的zui大放大倍数在2000倍左右，所以可以直接观察到一些重金属的原子和晶体中排列整齐的原子晶格通过电子显微镜。
