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由于真空系统的多样性，检漏方法也各式各样，厂家也设计制造了许多专门用于检漏的仪器（真空检漏仪）。一．对检漏方法的一般要求检漏灵敏度高，可以检出很小的漏孔；反应时间短，可以提高工作效率；能定位、定量，即不经能够找出漏孔的位置，还能知道漏率的大小，以便确定是否合乎质量要求；能无损检漏，不使被检设备受到损伤和污染；。
对于容积较小的部件，如波纹管、各种充气接头和气管焊接件等，采用氦罩法被检工件抽空，气密检漏仪设备，检漏仪调到漏率（10-11Pa。m3/s），然后对氦罩冲氦。为了避免事故的发生，化工厂商在投建厂房时就应该对化学管道和设备做气密检漏并且后期生产中也需要定期检漏。检漏仪在管道检测方面有两种检测方法，负压法和正压法，一般化工管道采用的是负压法。负压法就是常说的抽真空，这是检漏仪常用的检漏方法。
检漏仪在管道检测方面有两种检测方法，负压法和正压法，一般化工管道采用的是负压法。负压法就是常说的抽真空，这是检漏仪常用的检漏方法。检漏的方式是：链接被检化工管道和真空泵组以及检漏仪，用真空泵组把管道抽真空，达到一定真空度。使用氦气喷在管道密封接头，焊缝处喷氦，如果被检管道某处有泄漏，当氦喷到漏孔上时，氦气会立刻被吸入到真空系统，从而扩散到质谱室内，检漏仪感应到氦就会立刻有响应。从而达到了检漏的结果。
