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MKS MultiGas™ 6030傅利叶变换红外光谱分析 仪是以傅利叶变换红外为基础的多气体光谱分析 仪。其具有ppb到ppm的灵敏度。广泛用于半导体 生产工艺控制和监控,气体纯度和组成分析,环 境有毒有害气体监测和工业尾气监测。 MultiGas™6030傅利叶变换红外光谱分析仪能分 析含有高达40%水气的样品, 能同时分析和显示 多达 30 种气体。分析仪储存了永久性的标定光 谱,节省了昂贵的标气成本。另外,使用者也会 发现MultiGas™6030傅利叶变换红外光谱分析仪 极其耐用,全自动化操作,使用简便,易于维护。