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ENI牌直流/脉冲功率电源 ,应用于生产集成电路,半导体,光电器件，存储媒体(如光牒,光磁性材料) ,平板显示器及增强涂料,以优弧控制线路和0.01%低偏差率(重复性)改善整体流程.蚀刻等离子体产生器(RPG)能为物理气相沉积(PVD),化学气相沉积(CVD)偏压及增强涂料应用提供非对称双极或单极脉冲电流。 蚀刻等离子体产生器能够消除限制因素,使现有的物理气相沉积工具制造出符合”下一代技术”需要的高质量,低损耗的薄膜产品. 公司名称: 德国AENI等离子体电源亚太广州维修中心 广州市伊恩埃半导体技术有限公司 公司地址：广州市白云区机场路18号利好商业大厦909/926室 办公电话：020-8658585986585709 86389065 86380005 转818 传 真：020-8658-5862 联 系 人：林晓东
