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关 键 词:微电子实验室用净化存
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发布时间:2012-01-17
微电子实验室用净化存储通风柜 1.该设备型号:CGB-XXXX—XX系列,品牌:华林嘉业—CGB为高洁净度通风保管柜,适用于半导体生产工艺过程中存放成品、半成品和材料等 。2.本设备主要由高效空气过滤 、通风机、电器控制系统、柜体、门等组成。3.柜体采用银白色喷砂电泳铝材作框架,拉丝不锈钢材料作面板,外形美观。4.工作区全部为拉丝不锈钢板, 四层搁架牢固可靠,前面安装有染色有机玻璃门5.主要指标:(1).净化级别:100级(2).平均风速(m/s):0.25—0.45 (3).工作区尺寸920×350×1315mm(宽 ×深×高) (4.)外形尺寸1000×815×1850 mm(宽×深×高) (5).气流状态:气流为水平单向流,送风机具备两档转速,开门时,高速运行,平时低速运行。(6).振动