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关 键 词：磷扩散清洗台
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发布时间：2012-01-17
磷扩散清洗台 型号：CGB-XXXX—XX系列，品牌：华林嘉业—CGB:⑴整机采用磁白色PP板焊接而成，本机每槽可同时清洗2个花篮。本设备外型美观，耐酸性能好，操作方便，运行可靠，是半导体石英晶片理想的清洗设备。 ⑵本设备由机架部分、整机部分、槽体部分、伺服系统、及机械传动部分、电气控制系统构成。⑶工艺过程全自动，机械手在槽间转换靠PLC来控制，美国进口导轨和机械手来满足工艺时序。⑷除装片和取片需人工外，其余工艺动作均由机械手来实现，适用于连续批量生产。⑸机台内设高效过滤器，满足净化工作区工作（1000级~100级，10级为特级）。⑹人机界面为触摸屏，有安全保护故障代码，故障报警，工艺
