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关 键 词：半导体器件设备-硅片
行 业：电子 电子产品制造设备 半导体设备
发布时间：2012-01-17
半导体器件设备-硅片片盒清洗机 半导体器件设备-片盒清洗机型号：CGB-XXXX—XX系列，品牌：华林嘉业—CGB1.设备由五大部分组成：清洗槽部分、伺服系统及机械臂部分、层流净化系统、电气控制系统、机架及整机。 2.清洗槽部分由有机溶剂槽、去离子水槽、酸槽或碱槽等组成。 3.关键件采用进口件，包括气动阀，PFA管道、全氟循环系统，保证工作介质（酸、碱）的洁净度，避免杂质析出。 4.工艺过程全自动，机械手在槽间的转换由两套伺服系统控制，可存
