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产品规格：G-26A
产品数量：1 个
包装说明：木箱
关 键 词：光刻机
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发布时间：2008-04-18
光刻机/四川光刻机重庆北京光刻机 成都鑫南光机械设备有限公司专业提供在微电子工艺生产方面使用的多种型号的光刻机；在真空器件生产方面使用的排气设备(真空排气台)；在真空钎焊、陶瓷金属化、烧氢退火工艺等方面使用的各型真空炉、氢气炉、零件真空储存和真空干燥设备；在电光源产品生产上使用的真空排气机,以上方面设备的设计、制造和安装调试, 公司均有着自己独特的专长 主要技术参数： 1、适用于Φ6"、Φ5"、Φ4"基片，基片厚度0～5mm均可。 2、采用多点光源曝光头，最大输出光束≥Φ160mm；光束不均匀性≤±7%，（Φ150mm范围内）。 3、光源采用350W直流汞灯。 4、版、片对准精度±0.5μm。 5、采用片动、版不动的对准方式以及三点找平机构。 6、扫描观察范围：±15mm。 7、采用双目视场显微镜，放大倍数50X～375X。也可采用双CCD加液晶监视器来显示，放大倍数30X～189X或67.5X～420X。
