上海MEMS微电子派瑞林镀膜加工 派瑞林镀膜加工外协
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Parylene在OLED上的应用
市场对OLED显示器件要求使用寿命大于10000h，而OLED对于水汽、氧气非常敏感，其有机发光材料和活泼金属阴极都很容易和水汽、氧气发生反应而使器件遭到损坏。派瑞林涂层的水汽渗透率非常低，较可靠的将OLED器件与外界的水氧隔绝，保护了发光材料和活泼金属阴极，从而提高了OLED的使用寿命。
Parylene文物保护上的应用
脆弱的文物、标本等可用派瑞林（Parylene）加固保护、延长寿命，被誉为可给考古界带来一场变革的新型文物保护材料，能解决其它材料不能解决的文物保护问题。
通过 Parylene真空涂敷，可使过火的纸张和书籍加固，防止进一步损坏。因为Parylene特的能力可以涂敷纸张中的每根纤维。易破碎的人工制品可以被加固和检测以避免进一步的损坏。作为珍贵照片或图片的保护材料，parylene涂层可在不改变它们的外观的情况下，起到防蛀、防霉、防潮的作用，同时大大延长其寿命。
Parylene在传感器、换能器上的应用
随着物联网成为现实，各类传感器应用也越来越广泛，如智慧城市、智慧、人工智能、无人驾驶、可穿戴设备等，且用于各种复杂环境和极端环境中。用于这些恶劣环境中的传感器，无疑会出现生锈、腐蚀、受潮等现象，致使无常工作。派瑞林涂层能耐酸碱和，对水汽和盐雾等恶劣环境有极好的阻隔能力，同时，派瑞林涂层很薄（几微米甚至可以做到几百纳米），对传感器的灵敏度影响很小，目前被各类传感器作为材料。
Parylene采用了一种特的化学气相沉积工艺（CVD）。CVD工艺早应用于半导体工业的外延生长，整个过程是气态反应，又在真空条件下进行，因而可以获得非常均匀的涂层，达到其它方法难以实现的同形性。过程主要有三步：
1.真空130℃条件下固态派瑞林材料升华成气态。
2.真空680℃条件下，将气态双裂解成活性单体。
3.真空常温下，气态单体在基体上生长聚合。
