绍兴铁氧体绝缘派瑞林镀膜加工 帕利灵涂层
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Parylene在硅/橡胶密封件产品上的应用
各类密封件在使用中可能遇到各种不同的环境,为更好的适应各种恶劣环境,防止硅橡胶老化,延长密封圈的寿命,需对密封件在能起到密封阻隔的同时,还必须有耐腐蚀、耐摩擦等性能。经Parylene涂敷后,在密封圈表面形成一层薄而均匀的膜,该膜层具有优越的屏障特性、光学性能、热性能以及良好的抗磨擦能力,能满足在恶劣环境中的使用,从而大大增加了使用寿命。另外,由于膜层很薄(2-3um),镀膜后不影响产品原有的柔韧性和轮廓尺寸,是密封圈涂敷防护的理想方式。
Parylene在产品上的应用
派瑞林涂层不仅电性能和防护性能好,而且生物相溶性也好,它已通过美国FDA论证,满足美国药典生物材料VI类标准,被列为是一种可以在体内长期植入使用的生物材料。
派瑞林真空镀膜以其良好的耐腐蚀、耐,抗氧、低阻滞性、低摩擦系数及生物相容性,在国际运用的生物器材的表面涂层上,将逐步取代TiNi(镍钛)合金涂层而被列为材料。如、探针、针头、临时手术器械、导尿管、制动器及耳蜗植入器,心脏起搏器、脑电极、植入式传感器、射频治疗仪、血液分析传感器和高频手术刀等微型电子器械,已普遍选用派瑞林涂层。
Parylene文物保护上的应用
脆弱的文物、标本等可用派瑞林(Parylene)加固保护、延长寿命,被誉为可给考古界带来一场变革的新型文物保护材料,能解决其它材料不能解决的文物保护问题。
通过 Parylene真空涂敷,可使过火的纸张和书籍加固,防止进一步损坏。因为Parylene特的能力可以涂敷纸张中的每根纤维。易破碎的人工制品可以被加固和检测以避免进一步的损坏。作为珍贵照片或图片的保护材料,parylene涂层可在不改变它们的外观的情况下,起到防蛀、防霉、防潮的作用,同时大大延长其寿命。
Parylene在MEMS及半导体产品上的应用
Parylene的真空气相沉积工艺不仅和微电子集成电路制作工艺相似,而且所制备的Parylene涂层介电常数也低,还能用微电子加工工艺进行刻蚀制图,进行再金属化,因此Parylene不仅可用作防护材料,而且也能作为结构层中的介电材料和掩膜材料使用,经Parylene涂敷过的集成电路芯片,其25um细直径连接线,连接强度可提高5-10倍。
Parylene能在0.2um厚时就完全没有针孔,5um时就能耐1000V以上直流击穿电压,又是摩擦系数很低的一种自润滑材料,化学惰性和阻隔性能也好,因此在微电子机械系统中,除了作电介质材料外,还用作微型传动机构和微型阀门的结构材料和防护材料。