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氦气的本底噪声低,分子量及粘滞系数小,因而易通过漏孔并易扩散;另外,氦系惰性气体,防水检测设备,不腐蚀设备,故常用氦作示漏气体。将这种气体喷到接有气体分析仪(调整到仅对氦气反应的工作状态)的被检容器上,若容器有漏孔,则分析仪即有所反应,从而可知漏孔所在及漏气量大小。主要配置:检漏仪分子泵。机械泵或者干泵。定制检漏仪电磁阀。内置标准漏口。 放大器。质谱模块。
氦质谱检漏仪对示漏气体的要求及选择:无害,不能对人体或环境造成伤害;质量轻,惰性气体,穿透能力强,能穿透微小细缝;化学性质稳定,不会引起化学反应;氦气的本底噪声低,分子量及粘滞系数小,因而易通过漏孔并易扩散;另外,氦系惰性气体,不腐蚀设备,故常用氦作示漏气体。氦质谱检漏仪主要技术指标:1. 小可检漏率:5×10-12Pa·m3/s。2. 漏率显围:1×10-3—1×10-12Pa·m3/s
检漏仪启动时间:≤5min。响应时间:≤1s检漏口的。高压力:1500Pa。电源要求:220v,50Hz,单相,10A。工作环境:5-35℃一般检漏都采用氦气(He)作为示漏气体,但也有用氢气(H)作为示漏气体的,考虑到它的化学性质及危险性,在应用中较少使用,所以实际大部分检漏使用的都是氦气。氦质谱检漏仪的特点:检测时间和周期非常短,可以达到5s以内;检测的介质比较常用,仅需压缩空气即可;