ICP-OES和ICPMS样品分析能力不同：
ICP-MS有惊人的能力来分析大量测定痕量元素的样品，典型的分析时间为每个样品小于5分钟，在某些分析情况下只需2分钟。Consulting实验室认为ICP-MS的主要优点即是其分析能力。
ICP-OES的分析速度取决于是采用全谱直读型还是单道扫描型，每个样品所需的时间为2或6分钟，全谱直读型较快，一般为2分钟测定一个样品。
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ICP-OES和ICPMS精密度不同：
ICP-MS的短期精密度一般是1～3% RSD，这是应用多内标法在常规工作中得到的。长期(几个小时)精密度为小于5%RSD。使用同位素稀释法可以得到很好的准确度和精密度，但这个方法的费用对常规分析来讲是太贵了。
ICP-OES的短期精密度一般为0.3～2%RSD，几个小时的长期精密度小于3%RSD。
起草的标准情况：
钆镁合金中稀土与非稀土杂质AlCuCaFeSiNi的测定。 2009年
钆铁合金中非稀土元素AlCaMgMn的测定。 2010年
镨钕镝合金中稀土与非稀土杂质以及配分测定。（起草）
钕铁硼废渣中稀土与非稀土杂质测定以及配分测定。（进行到二验，标准未公布）。
