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发布时间:2021-12-27
桌面扫描电镜的成像原理
1. 光学显微镜
光学显微镜主要由目镜、物镜、载物台和反射镜组成。目镜和物镜都是焦距不同的凸透镜。物镜凸透镜的焦距小于目镜凸透镜的焦距。物镜相当于投影仪的镜头,物体通过物镜变成倒置、放大的实像。目镜相当于普通的放大镜,实像通过目镜变成直立、放大的虚像。
从显微镜到人眼的物体都是倒置放大的虚像。镜子用于反射和照亮被观察的物体。镜子一般有两个反射面:一个是平面镜,在光线较强时使用;另一种是凹面镜,天津FIB电镜制样机构,在光线较弱时使用,可以将光线会聚。
2.电子显微镜
电子显微镜是根据电子光学原理,利用电子束和电子透镜代替光束和光学透镜,从而可以在很高的放大倍数下对物质的精细结构进行成像的一种仪器。
扫描电子显微镜是检测样品表面形貌的大型仪器。当具有一定能量的入射电子束轰击样品表面时,电子与元素核和外层电子发生一次或多次弹性和非弹性碰撞。一些电子被样品表面反射,而其余电子则穿透样品逐渐失去动能,停止运动而被样品吸收。在这个过程中,天津FIB电镜制样,百分之99以上的入射电子能量转化为样品热能,天津FIB电镜制样价格,剩余约百分之1的入射电子能量激发样品的各种信号。这些信号主要包括二次电子、背散射电子、吸收电子、透射电子、俄歇电子、电子电动势、阴极发光、X射线等。扫描电镜设备利用这些信号获取信息来分析样品。
台式扫描电镜观察厚试样
台式扫描电镜可以获得高分辨率和真实的厚样品形貌扫描电子显微镜的分辨率介于光学显微镜和透射电子显微镜之间,但在比较厚样品的观察时,由于透射电子显微镜也采用层压法,天津FIB电镜制样中心,层压的分辨率通常只有10nm,而且观察的不是样品本身。因此,用扫描电镜观察厚样品,获得样品的真实表面数据更为有利。
台式扫描电镜观察试样区域细节
试样在样品室中可动的范围非常大,而显微镜在其它方面的工作距离通常只有2-3cm,因此实际上,只有试样可以在二维空间中移动,但在台式扫描电子显微镜中是不同的由于工作距离大(可能大于20 mm)焦深大(比TEM大10倍)样品室的空间也很大因此,试样在三维空间(即三维平移、三维旋转)可以有六个自由度的运动而且具有较大的活动范围,便于观察不规则形状样品的各个区域。