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气体配气设备：目前在光谱仪器中也广泛使用。混合气体配气，是指含有两种或两种以上有效组份，或虽属非有效组份但其含量超过规定限量的气体。在光谱仪器中使用的SSGM的动态配气装置组成由3个高压流量控制器，适用惰性气体以及腐蚀性气体（可选全金属密封）；流量范围0~500毫升每分钟；耐压程度：5MPa（可选10Mpa）；精度等级：±1%F.S；可用于氮气、氦气、氩气等惰性气体，也可用于甲烷、烃类等可燃气体；设备里面采用高效混气罐，混气浓度均匀、平稳、高效、快速、精确地混合配比多种气体；各路MFC控制重复性精度高达±0.5%F.S；稀释比范围宽，从PPB级别到PPM级别到100%。
