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一般检漏都采用氦气(H作为示漏气体,但也有用氢气(H)作为示漏气体的,考虑到它的化学性质及危险性,在应用中较少使用,所以实际大部分检漏使用的都是氦气。检漏仪应用制冷行业:冰箱、空调、汽车用空调、蒸发器、冷凝器、夺缩机、低温储槽。检漏仪是根据质谱学原理,气密性防水检测机,用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。
检漏主要领域:航空航天——燃料箱、油箱、及各种电机等;仪表制造——压力传感器、阀门、波纹管和密封焊接件等;检漏主要领域:电力工业——高压开关、避雷器、发电厂冷凝器系统;电力工业——电子器件、半导体、传感器和积成电路;对于容积较小的部件,如波纹管、各种充气接头和气管焊接件等,采用氦罩法被检工件抽空,检漏仪调到漏率(10-11Pa.m3/s),然后对氦罩冲氦。
真空检漏向各个加热电极、炉体水套等通水腔体内喷吹氦气检查泄漏情况。若检漏多遍后升压率仍不合格,可以用塑料布、胶带对的焊口、法兰连接处、热电偶、电极等处进行包裹罩封,然后向罩中喷入氮气,观察检漏仪的漏率变化,如果缓慢上升,说明被包裹的位置存在漏点。极限压力不合格,升压率合格这种情况原因通常出现在粗抽阀到机械泵部分的各个连接管路的焊口及法兰连接或真空泵本身性能。