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发布时间:2021-10-21
脉冲激光沉积的应用领域
沈阳鹏程真空技术有限责任公司生产、销售脉冲激光沉积,以下信息由沈阳鹏程真空技术有限责任公司为您提供。
脉冲激光沉积技术适合做的薄膜包括各种多元氧化物,氮化物,硫化物薄膜,金属薄膜,磁性材料等。
应用领域:
单晶薄膜外延(SrTiO3,LaAlO3)
压电薄膜(PZT,脉冲激光沉积装置多少钱,AlN,脉冲激光沉积装置厂家,BiFeO3,BaTiO3)
铁电薄膜(BaTiO3,KH2PO4)
热电薄膜(SrTiO3)
金属和化合物薄膜电极(Ti,Ag,Au,Pt,Ni,Co,SrRuO3,LaNiO3,YZrO2,GdCeO2,LaSrCoFeO3)
半导体薄膜(Zn(Mg)O,AlN,SrTiO3)
高K介质薄膜(HfO2,脉冲激光沉积装置,CeO2,Al2O3,脉冲激光沉积装置公司,BaTiO3,SrTiO3,PbZrTiO3,LaAlO3,Ta2O5)
超导薄膜(YBa2CuO7-x,BiSrCaCuO)
光波导,光学薄膜(PZT,AlN,BaTiO3,Al2O3,ZrO2,TiO2)
超疏水薄膜(PTFE)
红外探测薄膜(V2O5,PZT)
脉冲激光沉积系统特点及优势
可根据客户需求定制产品,灵活性高,并提供的技术支持;靶台可以安装6个靶位,靶材更换灵活;样品台样品尺寸从10x10mm样品到2英寸样品均适用;进样室可以存储多个靶和样品;交易过程无需繁琐的进、出关手续, 交货期短,高;
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脉冲激光沉积机制
沈阳鹏程真空技术有限责任公司生产、销售脉冲激光沉积,我们为您分析该产品的以下信息。
PLD的系统设备简单,相反,它的原理却是非常复杂的物理现象。它涉及高能量脉冲辐射冲击固体靶时,激光与物质之间的所有物理相互作用,亦包括等离子羽状物的形成,其后已熔化的物质通过等离子羽状物到达已加热的基片表面的转移,及膜的生成过程。所以,PLD一般可以分为以下四个阶段:
1. 激光辐射与靶的相互作用
2. 熔化物质的动态
3. 熔化物质在基片的沉积
4. 薄膜在基片表面的成核(nucleation)与生成。