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发布时间：2021-10-17
氦质谱检漏仪的工作原理是什么？
检漏仪主要的目的是检查一个真空腔体各个密封处是否有泄漏、漏气的地方。在这个密封腔体内充满氦气，用质谱检漏仪在不腔体外，不同部位检测，正压氦气质谱检漏仪，如果密封存在问题，则有氦气泄漏，被质谱仪检测到。质谱检漏仪是一种简易的质谱仪，对分辨率和检测的质量范围要求很低，但对灵敏度要求较高。其实各个种类的质谱仪都可用来作为检漏质谱仪。
氦质谱检漏仪的结构
真空系统是提供质谱室正常工作的条件。由于钨阴极正常工作时需要具备0.001-0.01Pa的真空度，同时保证氦离子在分析器中的运动有较高的传输率，因此建立一个高真空系统是必要的。系统中的节能阀则是为了满足质谱室工作压力的调节，该阀全开时检漏灵敏度高，因此在条件允许情况下开启大些为宜。检漏时为了校准检漏灵敏度，正压氦气质谱检漏仪公司，系统中设置了标准漏孔。
氦质谱检漏仪特点
1，气路设计，提高了对氦的抽速，正压氦气质谱检漏仪价格，缩短了清氦本底时间，有效防止氦污染。2，检漏口配备：定制精密过滤装置，可有效避免杂物颗粒或铜粉进入仪器内部。3，多模式功能输入、输出，轻松连接各种自动化设备。4，机械与电路有效分开，避免了温度、电磁场等彼此干扰，使检漏仪运行更加稳定、可靠。5，可检漏率低，灵敏度高，检测量程达到11级。
