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发布时间:2021-10-03
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清炉是个技术活,清炉不到位,将影响到单晶的正常生长,高纯石墨坩埚加工,轻者,无法正常生长单晶,重者,将会导致停炉,大家在清理单晶炉中应该注意到几点:1、尽量将喷溅到石墨部件上的硅滴去除,劣化严重的石墨件要向主任报告及时更换。2、用刷子和吸尘器清理各种石墨件,一定要注意清理管道的重要性。3、石墨件要轻拿轻放,避免石墨件受损。4、清理干净的石墨件,应放在干净的不锈钢推车上,避免二次污染。
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