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发布时间：2022-07-30
电子气体中金属杂质的捕集
电子工业用气体统称电子气体，指在半导体及其它电子产品生产过程中所用到的高纯度气体，是微纳电子制造国家安全战略产业的关键支撑材料，其广泛应用于大规模集成电路、液晶显示器、多晶硅和薄膜太阳能电池、新型电光源、光电半导体器件以及光纤通讯器件等电子行业 [1] [2] [3]。表1为一些电子工业生产中所常用到的高纯气体 [3]。
近年来，随着微纳电子先进制程向大尺寸、窄线宽、高集成度、高均匀性和高完整性发展，对电子气体的纯度和一致性要求越来越高，杂质捕获仪厂家，除了应具有5 N (99.999%)以上纯度，杂质捕获仪，还要求电子气体中的H2O、气体杂质(如O2、CO2、CO、CH4等)和金属杂质(如Al、Cr、Cd、Cu等)的指标达到ppb (10?9)至ppt (10?12)数量级，气体的品质要求高度稳定且一致。电子气体的纯度对于半导体器件的质量与成品率影响很大，尤其是气体中的金属杂质，是使半导体产生漏电、晶格缺陷和断线的主要原因
杂志捕获仪
在矿业中，金属探测器的工作环境恶劣，除了存在功耗大、安装不方便、灵敏度低的缺点外，人机界面差也是一个非常重大的问题”。的人机界面可以防止探测器误报，提高金属探测器工作效率，传统矿用金属探测器人机界面直接将数据传送到每个显示芯片，并非作为一个单独的系统考虑。因此，杂质捕获仪价格，容易受到影响，存在抗干扰能力差、容易误动作等缺点。
蒸发捕集法
蒸发捕集法是使液化的样品气蒸发，对残留在容器内的金属成分进行溶解作为样品溶液 [13]。然而，在主体成分蒸发时，金属杂质也随之部分逸出，杂质捕获仪报价，因此需配合溶液吸收法进行前处理。该方法适用于沸点较低、易对分析仪器产生不良影响的腐蚀性气体样品。
姜阳等 [13] 采用蒸发捕集法和溶液吸收法相结合的方法，将待测液氨在室温下进行挥发，挥发出的氨气用超纯水吸收液吸收，溶解为氨水，作为溶液吸收法样品；此外，在待测液氨挥发结束后加入一定量稀硝酸，溶解残留在容器内的金属元素，作为蒸发捕集法样品；然后，将氨水样品与稀硝酸样品混合稀释后进行待测液中金属杂质含量的检测。
