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杀菌灯的材质也是杀菌效率的关键因素。日光灯和节能灯使用普通玻璃做成的,253.7nm紫外线透不出来,不能用做杀菌用的灯,石英玻璃对紫外线透过率高,达 90%,是做杀菌灯的材料,但是石英玻璃的性能与普通玻璃在性能上有很大的差别(主要是热膨胀系数不同),封接不能用普通的自动化程度较高的圆封的办法,这使得杀菌灯生产制造的技术含量要高于普通节能灯。
另外,石英杀菌灯的另一个特点是可发出臭氧。由于石英玻璃对短波 185nm 的紫外线透过率也高,185nm 的紫外线能电离空气产生臭氧,臭氧浓度高对人体不利,但在无人场合时能使用,臭氧也能杀菌、消毒,恰好可弥补由于紫外线只沿直线传播、消毒有死角的缺点。