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搬运机器人的特性
● 高强度,高精度,高信赖性
● Z Axis: 450mm
● ¢ Axis: -5°~335°
● RR Axis: 1032mm
● RL Axis: 1032mm
● 负载 : MAX.10/each(including Hand)
● 反复精度: 0.1mm
● 应用:Glass size:2-4Gen(730*920)
wafer/DUT size:8wafer-1Gen(270*360)
半导体,LCD等.