PECVD石墨舟-石金科技石墨制品-PECVD石墨舟厂家

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行 业：冶金 非金属矿物制品 石墨/碳素 

发布时间：2021-08-26

石墨舟镀膜后硅片会变色？分析可能原因：温度过高或工艺时间太长前面提到有些客户反应，新舟直接上去使用没有问题清洗后容易出现。所以一个好的镀舟工艺非常的重要。正常的镀舟可以满足工艺正常生产需要，镀舟不足会造成生产时工艺的化学反应被石舟吸收造成硅片镀膜不良，吃的太饱”就容易造成硅片的四周发白。因为我们的舟片是镂空的，硅片的四周是同舟片相接触的，从而造成四周的生长速率加快，PECVD石墨舟厂家，形成片子四周发白（偏白）此点建议从镀舟工艺上调整。