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关 键 词：多晶硅片
行 业：机械 干燥设备 微波干燥设备
发布时间：2021-07-31
硅片体材料微波干燥设备适用于物料终水含量要求高的硅体、晶体物料的游离水、结合水快速干燥。
根据体行业的要求进行设计。具有自动化程度高，干燥硅尘损失小，能源利用率高，运行成本低，结构紧凑、占地面积小等特点。
多晶硅是一种重要的溅射靶材材料，使用磁控溅射方法制备SiO2等薄膜层，可以使基体材料具备更好的光学、介电及抗蚀性能，被广泛应用到触摸屏、光学等行业中。本公司采用美国GT-Solar公司的多晶硅铸锭炉的铸造长晶工艺可制备出的硅靶材材料，具有纯度高、导电性优异、晶粒均匀等特点，硅材料尺寸可达1m×1m。
具有纯度高、导电性优异、晶粒均匀等特点，硅材料尺寸可达1m×1m。
铸造长晶工艺，是通过控制铸锭炉热场中的加热器温度、隔热材料的散热量，来实现液态硅从底部开始，逐渐向顶部的定向凝固，凝固长晶速度为0.8~1.2cm/h。同时在定向凝固过程中，可以实现金属元素在硅材料中的分凝效应，实现大多数金属元素的提纯，并形成了均匀的多晶硅晶粒组织。铸造多晶硅在生产过程中还需进行有意掺杂，其目的是改变硅熔体中受主杂质的浓度。行业内P型铸造多晶硅的主要掺杂剂是硅硼母合金，其中硼含量在0.025%左右。
铸造长晶工艺，是通过控制铸锭炉热场中的加热器温度、隔热材料的散热量，来实现液态硅从底部开始，逐渐向顶部的定向凝固，凝固长晶速度为0.8~1.2cm/h。同时在定向凝固过程中，可以实现金属元素在硅材料中的分凝效应，实现大多数金属元素的提纯，并形成了均匀的多晶硅晶粒组织。
微波与无线电波、电视信号、通讯、红外线、可见光等一样，都属于电磁波，只是波长和不相同。
微波是频率在300兆赫到300千兆赫的电磁波（波长1米-1毫米），通常用于电视、广播、通讯技术中，而近代应用中又将它扩展出另一个分支，即把微波作为一种能量，在工农业上进行加热、干燥；在化学工业中进行催化促进化学反应；激发等离子体等。家用微波炉的使用也日趋广泛。由于电磁波的应用为广泛和普遍，为避免相互干扰，国际无线电管理会对频率的划分作了具体的规定，我国目前用于工业加热的频率为915兆赫和2450兆赫。
微波加热原理
