供应直线电机

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产品规格：VWDT1F065-010

产品数量：1 个

包装说明：木箱

关 键 词：真空机器人

行 业：机械 工业机器人 通用型机器人 

发布时间：2023-09-13

双层望远方式的Body / 高信任度，生产性，精密度
可进行CC-LINK, RS-232通信 / 能够对应8’’~18’’级的多种大小。
主要特征：
■ Application for Cluster Tool 

  - Applicable to Process (CVD, ALD, Etcher, PE-CVD, ETC)



■ Model : VWST1S039-010

  ▶ Spec.

   - Vacuum Level : 1.0 X 10 e-8 Torr

   - Arm Stroke : ±390mm

   - Th Axis Stroke : 360°

   - Z Axis Stroke : Customer spec.



■ Model : VWDT1F065-010

  ▶ Spec.

   - Vacuum Level : 1.0 X 10 e-8 Torr

   - Arm Stroke : ±650mm

   - Th Axis Stroke : 360°

   - Z Axis Stroke : Customer spec.