EFEM PROT

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关 键 词：半导体设备

行 业：机械 电脑产品制造设备 

发布时间：2023-09-13

装载2Port~4 Port LPM / Soft and High Speed Wafer Handling with AC Servo System Control.
FOOTPRINT 最优化 / 可使用 FFU 扣押联动 Mode / 构现 Enable smooth top down air flow with enclosure structure
OPTION : Pre-ALIGNER, SIDE STORAGE。
主要特征：
■ Carrier : 300mm FOUP (SEMI E47.1-1101)

■ Cleanliness : ISO Class1

■ Repeatability : ±0.1mm

■ Electric Supply : 208VAC±10%, 3Phase

■ Acoustic Noise : < 70dB

■ Communication : Ethernet