阜新探头价格 274 Bayard-Alpert 真空规管
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行 业:机械 泵 真空泵
发布时间:2021-06-21
HPG400 大气压到高真空真空计
INFICON 高压热电离 Pirani真空计 HPG400 将高压热电离技术与 Pirani 传感器整合在一个体积小、价格低的规管中,可测量 2×10-6 mbar 至大气气压(1.5×10-6 Torr 至大气气压)范围内的压力。HPG400 提供高可重复性和再现性压力测量,实现控制镀溅过程压力。
技术规格
BAG050,EB-除气超高压裸电离真空规,能够测量:2×10E-11至10E-3Torr。
BAG051,电阻式脱气(I2R)裸电离真空规,能够测量:4×10E-10至10E-3Torr。
BAG052和BAG053,电阻式脱气(I2R)玻璃电离真空规,能够测量:4×10E-10至10E-3Torr。
皮拉尼规管
PRG20K–NW16 AI
铝制传感器单元与钨丝
改进的温度补偿
PRG20K–DN16CF SS
钨丝和不锈钢传感器单元
耐过压
PRG20KCR–NW16 SS
铂丝与不锈钢传感器单元、陶瓷馈通件
非常适合于腐蚀性过程和水蒸气环境
275 Mini-Convectron
GP 390真空计的复合规管技术
以往,在宽量程范围内要进行测量需要多个传感器,多个真空系统接口,及相关电缆及电子器件。GP的Micro-lon ATM模块合并多传感器于一个微机控制设计中,减少了整体购置成本,同时提高真空测量性能。
GP将20多年成功的规管设计以及现场装机经验运用到了生产新的真空测量标准产品Micro-lon ATM模块中。宽量程、高性能,及紧凑型设计的Micro-lon ATM是您进行高真空系统压力测量的明智之选。
VSP 1000到1x10-4mbar 皮拉尼
应用实例
塑料元件经常被加以金属镀膜,这抑或出于美观考虑,抑或为了屏蔽敏感元件免受干扰。
挑战
金属镀膜是在一个PVD镀膜系统中进行。它首先由一个旋片泵通过旁路抽至10-2mbar。然后由涡轮分子泵进一步抽至10-5 mbar。镀膜工艺通常在2x10-4 mbar下进行,此时需要连续地真空状态,以确保镀膜工艺持续不断地高质量运行。为了避免涡轮分子泵超负荷,例如在不恰当的系统压力下切换到分子泵等,旁路中的压力以及涡轮分子泵的前级真空都需要被。
解决方案
用一个VSP 皮拉尼真空规控制旁路中的真空是否足以切换到涡轮分子泵。另一个VSP直接在涡轮分子泵处分子泵所需要的前级真空。一个VSM宽量空规测量系统内的极限真空度以及在镀膜过程中的压力。一台VD10多通路真空计用来做控制模块。
应用领域
分析仪器
真空炉
镀膜设备
前级真空控制
真空系统中的安全开关