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关 键 词：上海爱发科真空泵价格
行 业：机械 泵 真空泵
发布时间：2021-06-19
NRL60A / NRL90A / NRL180A干式真空泵
特长
NRL系列在低温领域下的均热化。除PVD工艺外，尤其适用于希望提高流量，缩短排气时间的重要工艺腔体的排气。
低噪音、低振动
优良的耐腐蚀性
标准零部件采用高硬度并经过优异的防腐蚀表面处理，降低对腐蚀性气体排气时泵体内部的腐蚀程度。
选购件
可选购、冷却水流量开关、氮气流量开关、泵温传感器。
用途
• 活性气体（CVD、刻蚀等）。
• 排出非活性气体（溅射镀膜、 蒸气镀膜、热处理、液晶注入等）。
• 用于产生粉尘工艺中的排气（Si单晶炉等）
• 作为前级泵使用（涡轮式分子泵、机械罗茨泵的前级泵）。
• 冷冻干燥等水蒸气排气。
ULVAC罗茨泵维修
PMB系列：PMB100D、PMB300D、PMB600D、PMB1200D、PMB2400D
PRC系列：PRC-003A、PRC-006A、PRC-012A、PRC-018A
PMB-C系列：PMB-040C、PMB-060C
提供全国范围内的ULVAC爱发科罗茨泵维修保养,以下为我公司维修过的型号:
NB系列罗茨泵：
NB100B
NB300B
NB600B
NB1200B
NB2400B
PRC-A/PMB-C(M) SERIES罗茨泵：
PMB1200D
PMB100D
PMB100DT
PMB300D
PMB300DT
PMB600D
PMB600DT
PMB1200D
PMB1200DT
MBS SERIES罗茨泵：
MBS-052
株式会社ULVAC以真空技术为基础，为先端技术应用及精细加工工艺为追求的研究开发型综合企业集团。
宁波爱发科真空技术有限公司成立于1995年，注册资本为2520万美元，是爱发科集团在中国投资的家企业。目前已成为爱发科在中国的真空泵及附属品生产基地，是集真空泵、真空测量及真空非标制品的生产、销售、售后服务一体的国家。作为追求真空极限（Ultimate in Vacuum）的真空技术先驱，在能源、电子、光学、未来显示技术、半导体器件、环保、医药、食品、生物工程、家电、自动化生产线等领域广阔应用，推进发展各种制造与应用设备。
秉承爱发科固有的工匠精神及日本的技术和本地的制造优势，为中国乃至世界的制造业及科技发展做出贡献。
