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关 键 词：山东真空规
行 业：机械 泵 真空泵
发布时间：2021-06-10
BAG402 中到超高真空真空计
INFICON 单 Bayard-Alpert 热电离真空计 BAG402 涵盖从 5×10-10 mbar 至 2.7×10-2 mbar（3.75×10-10 Torr 至 5×10-2 Torr）的广泛测量范围。选择 INFICON BAG402 紧凑型主动真空计套装，在低成本、可重复的工艺过程中进行基础压力测量。特的双丝极结构提供更优异的精度、长期稳定性和长使用寿命。
应用
高真空测量
真空系统
工业镀膜设备
一般真空测量应用
皮拉尼真空计
INFICON 皮拉尼真空计, PSG500, PSG502-S, PSG510-S 和 PSG512-S,采用的数字皮拉尼技术. 坚固的不锈钢传感器室和小型的结构使它们适用于各类真空系统.
技术规格
BAG050，EB-除气超高压裸电离真空规，能够测量：2×10E-11至10E-3Torr。
BAG051，电阻式脱气（I2R）裸电离真空规，能够测量：4×10E-10至10E-3Torr。
BAG052和BAG053，电阻式脱气(I2R)玻璃电离真空规，能够测量：4×10E-10至10E-3Torr。
运用薄膜传感器技术，该产品可以提供近大气端的的绝压测量并能提供大气端真空腔室内精准的相对压力指示。的传感器设计消除了在高压力下影响热损失传感器特性的热效应。这种小型模块复合了全部四种传感器及控制电子器件于一个紧凑的一体化设计中，减少了腔室真空规管的需求数量并小化所占空间。全量程压力测量可以通过单一模拟量信号或可选的串行RS485或DeviceNet数字协议输出。RS485和DeviceNet版本产品可以多选择三个设定点继电器用于工艺控制，可以在真空压力测量范围内设定任意压力值或者相对压力值。
VSR 1200到1x 10-4mbar 压阻/皮拉尼
应用实例
氮化硅在半导体行业中被用作隔离材料或外壳材料。它被放置于PECVD或LPCVD腔室中作气相沉积。在镀膜系统中要通过Load-Lock来保证工艺腔体中的真空维持在10-2到1mbar。
挑战
在Load-Lock抽真空过程中需要测量真空压力，以便晶片可以在尽可能短的时间被送入工艺腔体，从而启动镀膜过程。终处理过的晶片会再次回到Load-Lock，然后放气至大气压力后打门，取出晶片。因为操作的时间窗口很短，所以对压力读数的快速反应尤为重要。
解决方案
Load-Lock的压力由一个VSR真空规，它集成了压阻/皮拉尼复合传感器，能够高精度地测量1200到1x10-4mbar的真空压力。因而，打开工艺腔时的锁室压力以及放气到大气压力的精准时间点都可以被地测量。VSR快速的响应时间以及的压力读数使得腔门可以被快速及时地打开，从而使得一个非常短的Load-Lock循环周期成为可能。由于其出色的长期稳定性该真空规几乎无需维护。
应用领域
分析仪器
真空炉
镀膜设备
低真空泵测试
