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关 键 词：咸宁真空规
行 业：机械 泵 真空泵
发布时间：2021-06-08
Stripe™ CDG100Dhs 0.1 ... 1000Torr / mbar
INFICON Stripe 高速电容式隔膜真空计目前是快速、高度准确的真空测量仪器。响应时间不到 2 ms，配备 EtherCAT 现场总线接口，开拓了全新的应用领域。成熟的控温、防腐蚀、超纯陶瓷传感器能长期提供出众的量程稳定性，而且具有无与伦比的零位稳定性。Stripe 随附 INFICON 已获专利的特传感器屏蔽，用于保护真空计，使其免受不需要的过程副产品的影响。INFICON Stripe 使用创新的加热概念，提供冰凉的接触表面和特的速度性能, 可实现提升的生产力, 使其成为同类产品中的真空仪器。
对流增强的皮拉尼技术可在大气压下实现宽测量范围和更高的精度
内置显示器的一体式主动式测量仪，2 个设定点，4 个模拟输出信号和 2 个数字接口
带键盘的明亮的数字 OLED 显示屏，简化设置校准和操作
4 个可选的模拟输出信号（3 个用户可选，1 个默认）
出厂预设模拟输出信号或通过键盘进行选择
工厂预设的显示单位或通过键盘进行选择
用户可编程的设定点继电器（工厂根据量订单的要求预设）
镀金钨丝
机械强度高、坚固耐用、不易受机械冲击和振动影响
各种法兰的选择
合规和标准：CE、RoHS
直接取代大多数 Granville-Phillips® Mini-Convectron® 模块 (GP275)
应用
研究设施
分析设备
研究和生产涂料设施
泄漏检测系统
半导体开发和生产
具有标准供电要求和输出电压的有源真空计范围的一部分，允许简单集成到使用有源皮拉尼真空计、热电偶真空计、倒磁控管真空计、应变真空计、宽量空计和电离真空计的系统中。所有这些均与 TIC 仪器控制器、多管路数字显示屏和控制器兼容
特点
电子模块与规头合并在一起，降低了系统成本并节省了宝贵的机架空间
低输出阻抗和集成的法拉第屏蔽提供别的抗扰性，并允许使用长电缆（长可达 100 m）
低磁场型 XL 适用于敏感性应用，例如质谱分析和电子显微镜。
可更换的管体允许快速更换管件而无需预校准
已获 CSA C/US 认证
VSR 1200到1x 10-4mbar 压阻/皮拉尼
应用实例
氮化硅在半导体行业中被用作隔离材料或外壳材料。它被放置于PECVD或LPCVD腔室中作气相沉积。在镀膜系统中要通过Load-Lock来保证工艺腔体中的真空维持在10-2到1mbar。
挑战
在Load-Lock抽真空过程中需要测量真空压力，以便晶片可以在尽可能短的时间被送入工艺腔体，从而启动镀膜过程。终处理过的晶片会再次回到Load-Lock，然后放气至大气压力后打门，取出晶片。因为操作的时间窗口很短，所以对压力读数的快速反应尤为重要。
解决方案
Load-Lock的压力由一个VSR真空规，它集成了压阻/皮拉尼复合传感器，能够高精度地测量1200到1x10-4mbar的真空压力。因而，打开工艺腔时的锁室压力以及放气到大气压力的精准时间点都可以被地测量。VSR快速的响应时间以及的压力读数使得腔门可以被快速及时地打开，从而使得一个非常短的Load-Lock循环周期成为可能。由于其出色的长期稳定性该真空规几乎无需维护。
应用领域
分析仪器
真空炉
镀膜设备
低真空泵测试
