便携式真空计生产商 靖江真空计
价格：1000.00起
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行 业：机械 泵 真空泵
发布时间：2021-06-08
PSG55x 大气压至中真空真空计
INFICON 皮拉尼标准真空计 (PSG55x) 与其兄弟产品 PCG55x 和 PSG50x 相似，采用的数字皮拉尼技术。坚固的传感器设计结合紧凑的外形和众多功能，使其成为从低真空度到高真空度范围测量的正确产品。
GP 390真空计的复合规管技术
以往，在宽量程范围内要进行测量需要多个传感器，多个真空系统接口，及相关电缆及电子器件。GP的Micro-lon ATM模块合并多传感器于一个微机控制设计中，减少了整体购置成本，同时提高真空测量性能。
GP将20多年成功的规管设计以及现场装机经验运用到了生产新的真空测量标准产品Micro-lon ATM模块中。宽量程、高性能，及紧凑型设计的Micro-lon ATM是您进行高真空系统压力测量的明智之选。
特点
复合真空计 – 冷阴极和皮拉尼，5 X 10-9 mbar 至大气压的极宽测量范围，倒磁控管没有灯丝，不会出现丝极烧毁的现象，的点火属性，易清洗，FPM 或金属密封馈入装置，LED 指示器，高压时亮起
对数模拟输出信号
6个Edwards Active真空计
3个BAROCEL 7025M或7025和任意3个其他Edwards Active真空计
1个BAROCEL 7045或7100，2个BAROCEL 7025或7025M，以及任意3个其他Edwards Active真空计
274 Bayard-Alpert（热阴极）规管的压力指示是基于气体分子电离产生的连续电流。负电子由从加热的阴极以控制良好的固定速率射出并朝着带正电的栅极（阳极）加速运动。电子进入栅极和对地连接的收集极空间内。在这个空间内电子与真空系统中的气体分子碰撞产生正离子。然后正离子被位于柱状栅极中心轴处的接地的收集极收集。在固定的灯丝对栅极的电压和电子发射电流下，压力低于10-3Torr时正离子形成率直接与分子密度（压力）相关。离子流的强度在经压力单位调校的微安计上显示出来。由于压力的指数是线性的，热阴极BA规管通常在压力低于10-3Torr时被认为进行连续的压力测量时的。
VSR 1200到1x 10-4mbar 压阻/皮拉尼
应用实例
氮化硅在半导体行业中被用作隔离材料或外壳材料。它被放置于PECVD或LPCVD腔室中作气相沉积。在镀膜系统中要通过Load-Lock来保证工艺腔体中的真空维持在10-2到1mbar。
挑战
在Load-Lock抽真空过程中需要测量真空压力，以便晶片可以在尽可能短的时间被送入工艺腔体，从而启动镀膜过程。终处理过的晶片会再次回到Load-Lock，然后放气至大气压力后打门，取出晶片。因为操作的时间窗口很短，所以对压力读数的快速反应尤为重要。
解决方案
Load-Lock的压力由一个VSR真空规，它集成了压阻/皮拉尼复合传感器，能够高精度地测量1200到1x10-4mbar的真空压力。因而，打开工艺腔时的锁室压力以及放气到大气压力的精准时间点都可以被地测量。VSR快速的响应时间以及的压力读数使得腔门可以被快速及时地打开，从而使得一个非常短的Load-Lock循环周期成为可能。由于其出色的长期稳定性该真空规几乎无需维护。
应用领域
分析仪器
真空炉
镀膜设备
低真空泵测试
