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深圳市石金科技股份有限公司主营:石墨制品、石墨转子、石墨舟、石墨毡、石墨热场、CC复合材料、石墨材料、石墨零件、石墨板、VC散热石墨模具、VC散热石墨治具、超薄VC散热石墨模具、超薄VC散热石墨治具,欢迎咨询!
目的使石墨零件的表面吸入水分挥发掉,防止使用初期发生爆裂。经过预热后,应尽快将石墨零件加热到900℃-1000℃(2小时左右),石墨零件厂家生产,并保温20-30分钟,石墨零件设计,然后升到或降至工作稳定,目的是为了快速通过石墨零件易氧化温度区域。石墨零件经过次预热后通常不需要再预热,除非石墨零件再次受潮。
石墨舟推舟系统:石墨舟推舟系统采用软着陆的方式,即将石墨舟放到反应管内部后,石墨舟推舟机构将退出,自动门关上。载片舟是经特殊设计,在X轴、Y轴、Z轴三个方向可微调,再经精加工而成。它直接影响到电场的分布、等离子的产生、气流的走向、膜的品质。成膜压力甚至气体的流量都与此结构有关,所以推舟系统是本设备的核心部件。 管式PECVD系统:即使用像扩散炉管一样的石英管作为沉积腔室,使用电阻炉作为加热体,将一个可以放置多片硅片的石墨舟插进石英管中进行沉积。