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关 键 词:重庆光谱共焦位移传感器厂家
行 业:仪器仪表 传感器 测距/距离传感器
发布时间:2021-05-25
光谱共焦位移传感器的测量法是利用波长信息测量距离的。
由光谱共焦位移传感器的光源射出一束宽光谱的复色光(呈白色),通过色散镜头发生光谱色散,形成不同波长的单色光。每一个波长的焦点都对应一个距离值。
测量光射到物体表面被反射回来,只有满足共焦条件的单色光,可以通过小孔被光谱仪感测到。通过计算被感测到的焦点的波长,换算获得距离值。光谱共焦位移传感器的光谱共焦原理可以保证即使被测物存在倾斜或者翘曲,也可以进行高精度的测量,测量点不会改变。
ERT光谱共焦位移传感器 CCS的具体应用
微位移、微形变高精度测量
超高线性度,可以作为光谱共焦位移传感器的标定使用
通过长度测量可以测量计算难以获取的微小应变
纯光学测头,不会受到强磁干扰,无温度散发,可以在真空中使用
光谱共焦位移传感器的在线检测
光谱共焦位移传感器的高测量速度和开放的接口,可以应用于生产线相关的检测或控制系统
光谱共焦位移传感器的色散原理具有超高的耐表面性,高光洁表面也可以稳定检测
侧视测量,可以测量小直径7mm的微孔侧壁形貌
光谱共焦位移传感器的测振计
高速的测量频率和纳米级的分辨率,可以应用在物体的振动测量
光谱共焦位移传感器的厚度测量
的色散共焦成像原理可以测量透明材料的厚度,具有极高的度
光谱共焦位移传感器的液位控制
非接触式测量,可以对液位进行检测和测量
光谱共焦位移传感器的表面形貌扫描
符合新的ISO25178规定,能够测量几纳米以下表面粗糙度
非接触式粗糙度测量,对表面没有任何影响
连接三维扫描设备,能够实现复杂表面的亚微米级精度的2D和3D测量
光谱共焦位移传感器具有的测量能力,可以稳定的测量任何材质(如,镜面、玻璃、不锈钢、白色陶瓷、高光金属、基板等)无论什么表面均可在1μm内稳定测量。即使多种材质存在,用同一安装方式光谱共焦位移传感器也可以稳定测量。
光谱共焦位移传感器具有的角度特性,可测倾角87°,由于其同轴共焦原理,所以无像差干扰问题,即使被测物有过大倾角也不会影响测量精度。
镜面、透明、半透明体表面也可以有的角度特性,使用光谱共焦位移传感器,无需严格的角度调整就可以进行高精度测量。即使被测物在运动过程中的跳动也不会对测量造成过大的影响。
对于透明体内测激光切割的定位,光谱共焦位移传感起可一通过单点定位到对应的位置。
光谱共焦位移传感器的测量技术原理简介一
什么是光谱共焦位移传感器的光谱共焦测量原理呢?
在光谱共焦位移传感器的内部装有白色光LED通过一个半透镜面到达凸透镜。上述色差就在这里产生。光线照射到被测物体后发生反射,透过凸透镜,返回到传感器探头内的半透镜上。半透镜将反射光折射到一个穿孔盖板上,小孔只允许聚焦好的反射光通过。透过穿孔盖板的光是一组模糊光谱,也就是说若干不同波长的光都有可能穿过小孔照在CCD感光矩阵单元上。但是只有在被测物体上聚焦的反射光拥有足够光强,在CCD感光矩阵上产生一个明显的波峰。 在穿孔盖板后面,需要一个分光器测量反射光的颜色信息。分光器类似一个特制光栅,可以根据反射光的波长,增强或减弱折射率。因此,CCD矩阵上的每一个位置,对应一个测量物体到探头的距离。在光谱共焦位移传感器的整个量程上,共可以得到超过30,000个测量点。 这里只计算光线波长,用以产生测量信号。反射光产生的信号波峰振幅并不在信号测量依据之内。也就是说反射光的光强不会影响测量结果。 这意味着,无论有多少反射光从被测物体反射回来,测量的距离结果可能是不变的。因为反射光的光强仅仅取决于反射物体的反光程度。因此,采用ERT公司的光谱共焦位移传感器,即使被测物体是强吸光材料,如黑色橡胶;或者是透明材料,如玻璃或者液体,都可以进行正常可靠的测量。 与激光三角反射式位移传感器相比,采用共焦传感器测量曲面玻璃的优势: 1)由于光谱共焦位移传感器采用分析光谱成分对应距离变化的原理,相比激光三角反射式传感器通过反射光斑在CCD上的位置换算距离变化的原理,光谱共焦位移传感器测量结果更加稳定,分辨率和线性度更好。实际的测量项目中,采用ERT光谱共焦位移传感器后,整个测量机台的重复性甚至可达亚微米级别。 2)对于曲面玻璃边沿较大角度的位置,光谱共焦位移传感器可以获得更大可测量区域。 3)激光三角反射式传感器更加适合测量漫反射被测物。而对于镜面反射的曲面玻璃,同轴测量原理的光谱共焦位移传感器更加适用。 4)光谱共焦位移传感器的测量光斑更小,测量频率更高,适合快速捕捉微小结构的位置变化。