ERT多通道光谱共焦传感器
多路复用光谱共焦传感器特点:
有2路CCS PRIMA2或4路通道CCS PRIMA4光谱共焦传感器供选择; 高采样频率可达2000HZ;
多路复用通道:同时可以把所有光谱共焦传感器连接到控制器上,但一次只能有一个在使用,通道切换时间<400ms;
光谱共焦双通道传感器
1、表中给出的数值是典型值,LHCLO,LHCL2,LHCL3,LHCL4有±3%的偏差;LHCL1,LHCL5,LHCL6有±6%的偏差;
2、大可测倾角是指针对镜面反射表面时的极限角度值。漫反射表面的大可测倾角可达87;
3、在量程中间位置时的光斑尺寸,靠量程近端光斑更小,靠量程远端光斑更大,从中心分别到近端远端差异10%左右;
4、光度收集率是指由不同的测头测量同一样品收集的能量,是相对单位量,此表中的数值为典型值。测量高度反射的样品时,选择低光度收集率的型号,为了 避免饱和,测量扩散或低反射的样品时,选择具有高光度收集率型号,以避免一个非常低的信号与噪声比例;
5、轴向分辨率RMS是对静止样品测得的噪声电平。在量程的中心,以佳的速率进行测量,内部的平均分别设定为1-10。此参数为校准后立即测量,并对应交付每个传感器的校准证书;
6、精度是由1nm精度的编码器做比较校准,由所述传感器测量距离时,在整个测量范围内的大误差。使用以下设置:自动适应LED模式,优的速度,倾角为0。,内部平均=测量值/10。此参数为校准后立即测量,并每个传感器的校准证书交付;
7、小可测量的Ra的精度取决于样品的恃性,表中所给的值是典型的;
8、在佳的速度下,测量范围的中心,测量的典型值,不加平均。折射率=1.5个样本(测量空气间隙应除以1 5的厚度时);
9、可测半径为测头直径加工作距离。
注:光谱共焦双通道传感器以上参数如有变化,恕不另行通知。
光谱共焦大角度传感器的优势
当镜面被测物边沿有很大倾斜角度时(如手机3D玻璃边沿),激光三角反射法位移传感器的回光可能发生很大角度的反射,导致侧向收光器回光很少,无法测量。
在比较大的弯曲或倾斜角度内,只要有一小部分光返回,就可以完成测量任务。不需要倾斜安装或使用镜面反射型号位移传感器,光谱共焦传感器减少了传感器品种数和安装难度,大大提高使用效率。光斑大小等等的影响。光谱共焦传感器大角度可以解决工业测量过程中的大多数问题。
光谱焦传感器测量技术发展历史 随着精密制造业的发展,对精密测量技术的要求越来越高。位移测量技术作为几何量精密测量的基础,不仅需要超高测量精度,而且需要对环境和材料的广泛适应性,并且逐步趋于实时、无损检测。与传统接触式测量方法相比,光谱共焦传感器传感器具有高速度,高精度,高适应性等明显优势。 1940年,Hans Goldmann在瑞士伯尔尼发明了裂隙灯系统,用于检查。这个检测系统被认为是光谱共焦传感器测量系统的雏形。 1943年,Zyun Koana 发表了共聚焦传感器测量系统设计图,图中明确展示了共聚焦测量系统的传输光路。 1951年,Hiroto Naora, Koana的同事, 在科学杂志撰文描述了共聚焦分光光度法。 1955年,Marvin Minsky制造出了首台共聚焦显微镜,并于1957年申请了专利 1960年,捷克斯洛伐克查尔斯大学的Mojmír Petráň开发出了串联扫描光谱共焦传感器的测量系统,被认为是商业化的同类系统。
光谱焦传感器测量原理
光谱共焦位移传感器是一种通过光学色散原理建立距离与波长间的对应关系,利用光谱仪解码光谱信息,从而获得位置信息的装置,白光LED 光源发出的光通过光纤耦合器后可以近似看作点光源,经过准直和色散物镜聚焦后发生光谱色散,在光轴上形成连续的单色光焦点,且每一个单色光焦点到被测物体的距离都不同。当被测物处于测量范围内某一位置时,只有某一波长的光聚焦在被测面上,该波长的光由于满足共焦条件,可以从被测物表面反射回光纤耦合器并进入光谱仪,而其他波长的光在被测物面表面处于离焦状态,反射回的光在光源处的分布远大于光纤纤芯直径,所以大部分光线无法进入光谱仪。通过光谱仪解码得到光强大处的波长值,从而测得目标对应的距离值。由于采用了光谱共焦传感器的共焦技术,因此该方法具有良好的层析特性,提高了分辨力,并且对被测物特性和杂散光不敏感。
所以光谱共焦传感器的结构设计 在光谱共焦位移传感器系统中,系统的测量范围受4个方面的因素影响:
1)光谱共焦传感器光源光谱分布范围;
2)色散镜头在工作波段范围内的轴向色差;
3)光谱仪的工作波段;
4)光纤耦合器的工作波段。选择的白光LED 光源的光谱分布,波段 400~800 nm,所以在设计过程中,色散镜头、光谱仪和光纤耦合器的工作波段要尽量与光源的波段一致,终光谱共焦传感器的系统的测量范围为色散物镜在其共同工作波段范围内的轴向色差。