光谱共焦位移传感器原理简介
1. 一束白光穿过小孔S,照射在色散镜头组L上。色散镜头组把白光分解成不同波长的单色光,每一个波长对应一个固定的距离值。
2. 当对象出现在测量区域的时候,一个特定波长的单色光正好照射在其表面,并且反射进光学系统。
3. 此反射光通过一个小孔S,,(只有聚焦在被测体表面的光才可以穿过这个小孔),由波长识别系统(光谱仪)识别其波长,从而得到其所代表的距离值。
4.由光源射出一束宽光谱的复色光(呈白色),通过色散镜头发生光谱色散,形成不同波长的单色光。每一个波长的焦点都对应一个距离值。测量光射到物体表面被反射回来,只有满足共焦条件的单色光,可以通过小孔被光谱仪感测到。通过计算被感测到的焦点的波长,换算获得距离值.
ERT光谱共焦位移传感器操作简单容易维护
★ 仅需三步设置即可一键开始测量,节约时间精力
★ 高20mm/s扫描速度,数分钟之内即可完成测量
★ 000级大理石隔振设计,隔离1Hz以上环境振动影响,测量数据更
★ XY轴提供0.1μm分辨率光栅尺反馈,数据可重复性高
光谱共焦位移传感器的构成
光谱共焦位移传感器配备控制器、光纤和测量头。根据实际测量场景,控制器提供单通道、双通道和四通道选择,测量头也可依据量程和分辨率等要求进行配置。通过优化配置控制器和测量头,可为工业应用输出更为经济、性能强大和稳定的测量能力。
光谱共焦位移传感器在锂电池行业中的应用
触点检测
★ 3D表面形貌
★ 缺陷
电子制造
锂电池
正负极片
★ 3D表面形貌
★ 面粗糙度
集电器
★ 3D表面形貌
★ 面粗糙度
隔膜
★ 3D表面形貌
★ 缺陷
光谱共焦传感器的特点:
、稳定测量
★ 点、线、面三种测量模式,应对从简单到复杂的测量任务
★ 2D轮廓测量,包含长宽高、角度和台阶高度等十余项
★ 3D形貌测量,包含体积、表面积、翘曲度和腐蚀分析等
★ 符合国际ISO25178标准的面粗糙度测量分析
光谱共焦传感器在精密制造领域的应用
激光微纳加工
EDM电火花加工
★ 3D表面形貌
★ 槽宽 ★ 孔深 ★ 面积、体积 镭雕表面凹坑
★ 3D表面形貌 ★ 内径 ★ 深度 EDM电火花加工
★ 3D表面形貌 ★ 长宽高 ★ 表面粗糙度 ★ 槽深、槽宽