光学3D表面轮廓仪采用了高精度扫描模块和特的内部抗振设计,可实现高0.05%的测量精度重复性和0.002nm的粗糙度RMS重复性,诠释始终如一的测量品质;直观的操作界面,让您对操作流程一目了然,自动聚焦,助您一键实现测量过程;可视化的工作流程树,一键激活的图库管理功能,所见即所得的同步分析功能,更有一键分析功能,批量测量不用愁。
东莞市蓝海精密检测设备科技有限公司光学3D表面轮廓仪不仅可用于硅晶片、光学透镜、窗口片、蓝宝石表镜、手机屏等表面粗糙度检测仪,还可对LED衬底、红外观察窗口、超精密工件、微机电系统等进行超精密检测,在军事和民用领域都有着广泛应用。
东莞市蓝海精密检测设备科技有限公司专注于精密计量仪器和精密检测设备的技术发展,自强不息、知难而上、勇于创新,不断向各种技术壁垒、技术垄断发起挑战,用现代化的技术手段大幅提高测量效率和精度,图中国仪器技术之强大,铸中国产业提升之利器。
光学3D表面轮廓仪可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、国防、科研院所等领域中。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等,提供依据
二、 3D光学轮廓仪的产品功能
1) 一体化操作的测量与分析软件,操作无须进行切换界面,预先设置好配置参数再进行测量,软件自动统计测量数据并提供数据报表导出功能,即可快
速实现批量测量功能。
2) 测量中提供自动多区域测量功能、批量测量、自动聚焦、自动调亮度等自动化功能。
3) 测量中提供拼接测量功能。
4) 分析中提供调整位置、纠正、滤波、提取模块的数据处理功能,其中调整位置包括图像校平、镜像等功能;纠正包括空间滤波、修描、尖峰去噪等功能;滤波包括去除外形、标准滤波、过滤频谱等功能;提取包括提取区域和提取剖面等功能。
5) 分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等分析功能,其中粗糙度分析包括依据国际标准的ISO4287的线粗糙度、ISO25178面粗糙度、ISO12781平整度等全参数分析功能;几何轮廓分析包括台阶高、距离、角度、曲率等特征测量和直线度、圆度形位公差评定等功能;结构分析包括孔洞体积和波谷深度等;频率分析包括纹理方向和频谱分析等功能;功能分析包括SK参数和体积参数等功能。
3D光学轮廓仪的应用案例:
1.3C电子.蓝宝石玻璃粗糙度、手机金属壳模具瑕疵、手机油墨屏高度差;
2.半导体.抛光硅片、减薄硅片、晶圆IC
3.超精密加工.光学透镜
4.精密加工.发动机叶片
5.精密加工.金字塔型金刚石磁头
6.标准样块.单刻线台阶、多刻线粗糙度