光谱共焦位移传感器原理简介
1. 一束白光穿过小孔S,照射在色散镜头组L上。色散镜头组把白光分解成不同波长的单色光,每一个波长对应一个固定的距离值。
2. 当对象出现在测量区域的时候,一个特定波长的单色光正好照射在其表面,并且反射进光学系统。
3. 此反射光通过一个小孔S,,(只有聚焦在被测体表面的光才可以穿过这个小孔),由波长识别系统(光谱仪)识别其波长,从而得到其所代表的距离值。
4.由光源射出一束宽光谱的复色光(呈白色),通过色散镜头发生光谱色散,形成不同波长的单色光。每一个波长的焦点都对应一个距离值。测量光射到物体表面被反射回来,只有满足共焦条件的单色光,可以通过小孔被光谱仪感测到。通过计算被感测到的焦点的波长,换算获得距离值.
ERT光谱共焦位移传感器操作简单容易维护
★ 仅需三步设置即可一键开始测量,节约时间精力
★ 高20mm/s扫描速度,数分钟之内即可完成测量
★ 000级大理石隔振设计,隔离1Hz以上环境振动影响,测量数据更
★ XY轴提供0.1μm分辨率光栅尺反馈,数据可重复性高
光谱共焦位移传感器的构成
光谱共焦位移传感器配备控制器、光纤和测量头。根据实际测量场景,控制器提供单通道、双通道和四通道选择,测量头也可依据量程和分辨率等要求进行配置。通过优化配置控制器和测量头,可为工业应用输出更为经济、性能强大和稳定的测量能力。
光谱共焦位移传感器在锂电池行业中的应用
触点检测
★ 3D表面形貌
★ 缺陷
电子制造
锂电池
正负极片
★ 3D表面形貌
★ 面粗糙度
集电器
★ 3D表面形貌
★ 面粗糙度
隔膜
★ 3D表面形貌
★ 缺陷
光谱共焦传感器可实现纳米级测量技术
纳米级分辨率与测量精度
★ 17nm垂直分辨率,获得更多表面细节
★ 高1μm横向分辨率,更多采样值带来更的分析结果
★ 高14nm测量头精度,输出可信赖的测量数据
ERT光谱共焦传感器可测量玻璃及透明镜片
镜片阵列
★ 3D表面形貌
★ 表面缺陷
★ 曲率半径
曲面玻璃盖板
★ 长宽高
★ R角
★ 2D轮廓
★ 平面度
3D玻璃加工难点解决方案
相传在几千年以前,古罗马学者普里尼,在他的毕生巨著《自然史》中,记载了善于航海的腓尼基人次见到这种美观而又稀奇的东西——玻璃。
随着柔性AMOLED、5G时代的来临,3D曲面造型及玻璃材质将成为手机的标准配置。