爱发科干泵LR90维修保养 自定义信息标题 【0】
价格：1000.00起
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关 键 词：爱发科干泵LR90维修保养
行 业：机械 泵 真空泵
发布时间：2021-05-17
提供全国范围内的ULVAC爱发科罗茨泵维修保养,以下为我公司维修过的型号:
NB系列罗茨泵：
NB100B
NB300B
NB600B
NB1200B
NB2400B
PRC-A/PMB-C(M) SERIES罗茨泵：
PMB1200D
PMB100D
PMB100DT
PMB300D
PMB300DT
PMB600D
PMB600DT
PMB1200D
PMB1200DT
MBS SERIES罗茨泵：
MBS-052
ULVAC分子泵维修
UTM系列：UTM-50、UTM-150、UTM-300、UTM-500、UTB
UTM-FH系列：UTM-6300FH、UTM-3303FH、UTM-1001FH、UTM-800FH、UTM-480FH、UTM-350FH、UTM3302FH
UTM-FW系列：UTM-3301FW、UTM-2300FW、UTM-1400FW、UTM-1001FW、UTM-800FW、UTM-480FW、UTM-350FW
YTP系列：YTP- 50M/SA、YTP- 150M/SA、YTP- 300M/SA、YTP- 500M/SA
NRL60A / NRL90A / NRL180A干式真空泵
特长
NRL系列在低温领域下的均热化。除PVD工艺外，尤其适用于希望提高流量，缩短排气时间的重要工艺腔体的排气。
低噪音、低振动
优良的耐腐蚀性
标准零部件采用高硬度并经过优异的防腐蚀表面处理，降低对腐蚀性气体排气时泵体内部的腐蚀程度。
选购件
可选购、冷却水流量开关、氮气流量开关、泵温传感器。
用途
• 活性气体（CVD、刻蚀等）。
• 排出非活性气体（溅射镀膜、 蒸气镀膜、热处理、液晶注入等）。
• 用于产生粉尘工艺中的排气（Si单晶炉等）
• 作为前级泵使用（涡轮式分子泵、机械罗茨泵的前级泵）。
• 冷冻干燥等水蒸气排气。
ULVAC罗茨泵维修
PMB系列：PMB100D、PMB300D、PMB600D、PMB1200D、PMB2400D
PRC系列：PRC-003A、PRC-006A、PRC-012A、PRC-018A
PMB-C系列：PMB-040C、PMB-060C
