浙江800目半导体晶圆片研磨抛光微粉
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关 键 词:浙江800目半导体晶圆片研磨抛光微粉
行 业:超硬材料 超硬制品 研磨材料
发布时间:2021-05-13
MCA(平板状氧化铝研磨微粉)的晶体形状为六角平板状,不同于传统磨料的等体积或者球形,此形状使磨料颗粒在研磨过程中平行于被加工工件(如半导体硅片等)表面,产生滑动的研磨效果,而非传统的磨料滚动研磨,因而不容易对工件表面产生划伤,同时因为研磨压力是均匀分布在平板颗粒表面,颗粒破碎减少,耐磨性大幅度提高,因而能提供的磨削效率和表面光洁度。质量同日本 FUJIMI公司的PWA和美国Microgrit 的WCA相当。
中空球形粉体的颗粒上有无数的小孔,具有较大的比表面积,而催化剂载体的一个很重要的要求就是要有大的比表面积,因此这种产品可以作为一种优良的催化剂载体。
平板状氧化铝抛光研磨微粉的特点:
此产品主要成分为工业氧化铝,纯度达到99%以上,具有化学惰性,优异的耐热性,耐酸碱腐蚀性
球形Al2O3粉体可以作为多孔Al2O3的支撑体,由于形成的孔较规则,因此易于使支撑体整体均匀化。分散的α-Al2O3球形微粒具有良好的压制成型和烧结特性,有利于制得高质量的陶瓷制品。
板状氧化铝(国外称TabularAlumina,英语直译是片状氧化铝的意思),是指在略低于α-Al2O3熔点(2050℃)的1925℃高温下快速烧结,晶粒达到烧结完全的再结晶α-Al2O3,呈现二维平面的板片状且有较多晶间和晶内圆形封闭气孔的显微结构特征。
花状和立方形氧化铝粉体可以用作催化剂载体,并且在生物材料、复合材料或用作结构增强材料等方有重要的应用价值,所以无论是对其合成方法还是形貌生成机理的研究都值得进一步的探索。