金属膜厚测量
透明与不透明薄膜通常是在高速、苛刻的条件下生产的。正因为如此,在生产过程中需要一个稳定的传感器来薄膜的厚度。而且在测量时要求不受温度、湿度或薄膜抖动等环境因素影响。采用光干涉原理的ERT传感器能够完全满足这些条件,并能同时保证高速、高精准度的测量。这样一来,薄膜生产过程中的工艺参数就能被实时控制。
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彩色共焦位移传感器是一种精度可达次微米量级的非接触式位移量测系统,对於表面漫反射或镜反之物体乃至透明材质皆可测量其位移或厚度,基於出光与回传讯号路径同轴之特性,彩色共焦位移传感器亦适合於深孔/盲孔工件等量测应用
原理:
彩色共焦位移传感器乃利用特制的彩色编码镜头使可见光产生轴向色散输出,并经由光谱解析器解析共焦回传光波讯号,後透过波长与位移转换曲线计算出工件位移量测值
特点:
1非接触式光学共焦测量技术, 具有超高分辨率及同光轴回传讯号不会被遮挡之特性
2光纤传输彩色编码测头设计, 其结构轻巧且内部不含电子零件而不受环境干扰影响
3采用白光(可见光)光源系统, 相较激光光源而言安全防护要求低
4独特多层材质量测演算法, 可量测透明/半透明多层材质间之厚度或间隙
优势:
1 稳定量测各类材质, 例如金属/陶瓷/镜面/玻璃等
2 适用於各种工件形貌(包含深孔/斜面/弧面)之特徵尺寸量测, 例如高度/段差/厚度/平面度/轮廓度等
3 高温高压等严苛操作条件下亦能适应正常使用
测量塑料模具部件的壁厚
塑料模具部件,比如或吸量管,都能被用光干涉原理的非接触测量系统测量。因此这些小管的壁厚能够直接被光学探头测量出。