光谱焦传感器测量原理
光谱共焦位移传感器是一种通过光学色散原理建立距离与波长间的对应关系,利用光谱仪解码光谱信息,从而获得位置信息的装置,白光LED 光源发出的光通过光纤耦合器后可以近似看作点光源,经过准直和色散物镜聚焦后发生光谱色散,在光轴上形成连续的单色光焦点,且每一个单色光焦点到被测物体的距离都不同。当被测物处于测量范围内某一位置时,只有某一波长的光聚焦在被测面上,该波长的光由于满足共焦条件,可以从被测物表面反射回光纤耦合器并进入光谱仪,而其他波长的光在被测物面表面处于离焦状态,反射回的光在光源处的分布远大于光纤纤芯直径,所以大部分光线无法进入光谱仪。通过光谱仪解码得到光强大处的波长值,从而测得目标对应的距离值。由于采用了光谱共焦传感器的共焦技术,因此该方法具有良好的层析特性,提高了分辨力,并且对被测物特性和杂散光不敏感。
所以光谱共焦传感器的结构设计 在光谱共焦位移传感器系统中,系统的测量范围受4个方面的因素影响:
1)光谱共焦传感器光源光谱分布范围;
2)色散镜头在工作波段范围内的轴向色差;
3)光谱仪的工作波段;
4)光纤耦合器的工作波段。选择的白光LED 光源的光谱分布,波段 400~800 nm,所以在设计过程中,色散镜头、光谱仪和光纤耦合器的工作波段要尽量与光源的波段一致,终光谱共焦传感器的系统的测量范围为色散物镜在其共同工作波段范围内的轴向色差。
激光三角反射式位移传感器只有在聚焦点光斑小,离开聚焦点后光斑都会变大。对于测量微小结构的测量任务,可能会带来测量困难。
但是光谱共焦传感器只要是在量程范围内,测量有效波长的光永远都在焦点上,可以全量程保持分辨率和精度。因此光谱共焦传感器特别适合测量微小几何结构和轮廓变化。所以现在越来越多的工业自动化厂商都在使用光谱共焦传感器。
光谱共焦传感器 CCS广泛应用于物移、振动、形变、透明体厚度等各种高精度非接触式测量。
光谱共焦传感器 CCS系列原理
光谱共焦法是利用波长信息测量距离的。由光源射出一束宽光谱(LED)的复色光(呈白色),通过色散镜头发生光谱色散,形成不同波长的单色光。每一个波长的焦点都对应一个距离值。测量光射到物体表面被反射回来,只有满足共焦条件的单色光,可以通过小孔被光谱仪感测到。
通过计算被感测到的焦点的波长,换算获得距离值。光谱共焦法的色散共焦原理可以保证即使被测物存在倾斜或者翘曲,也可以进行高精度的测量,测量点不会改变。
光谱共焦传感器信号数据处理
光谱共焦传感器的光谱信息处理的终目的是为了得到峰值波长,但是光纤耦合器的内部回光、光源光强分布的不均匀、CCD 对不同波长光响应程度的不同、光谱共焦传感器系统的噪声等因素都会对谱峰定位造成影响,需要进行预处理后再用适当的算法提取峰值波长。 在光谱仪中得到的光谱信息包括光纤内部返回的背景光和从被测物表面返回的信号光。为了得到有用的信号光,首先需要对背景光进行采集,然后从光谱仪得到的数据中减去背景光。此外还要考虑光源光谱光强分布不均匀的影响。光源光谱特性后的光谱光强分布图,从图中可以看出峰值波长发生了偏移,所以需要对光源光强进行归一化处理。另外由于传感器在各个环节都会产生随机噪声,所以需要进行光谱共焦传感器的光谱去噪,常用的光谱去噪方法有中值滤波、小波函数滤波等,比较了不同的滤波方法后,终选择了用 db6 小波进行 6 次分解强制消噪,因为光谱共焦传感器经过其滤波处理后谱峰定位的重复性较好.