山东20um单晶硅片研磨抛光微粉
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关 键 词：山东20um单晶硅片研磨抛光微粉
行 业：超硬材料 超硬制品 研磨材料
发布时间：2021-04-30
淄博淄川大众磨料厂(淄博众力达新材料有限责任公司）位于全国氧化铝,陶瓷生产基地---淄博，成立于1999年，二十多年来一直致力于氧化铝材料的研制与开发。 公司2003年被国家技术部评为国家重点，并获得了”黉雪“商标注册。
板状氧化铝（国外称TabularAlumina，英语直译是片状氧化铝的意思），是指在略低于α-Al2O3熔点（2050℃）的1925℃高温下快速烧结，晶粒达到烧结完全的再结晶α-Al2O3，呈现二维平面的板片状且有较多晶间和晶内圆形封闭气孔的显微结构特征。
球形Al2O3粉体可以作为多孔Al2O3的支撑体，由于形成的孔较规则，因此易于使支撑体整体均匀化。分散的α-Al2O3球形微粒具有良好的压制成型和烧结特性，有利于制得高质量的陶瓷制品。
晶体形状为六角平板状，区别于传统磨料的等体积或者球形，此形状使得磨料颗粒在研磨过程中平行于被加工工件（如半导体硅片等）表面，产生滑动的研磨效果，而非传统的磨料滚动研磨，因而不容易对工件表面产生划伤，同时因为研磨压力是均匀分布在平板颗粒表面，颗粒破碎减少，耐磨性大幅度提高，因而能提供的磨削效率，因此可减少磨片机的数量、人工和磨削时间，如显像管玻壳磨削工效能提高3-5倍；对于被磨对象来说不易划伤，合格品率可提高10%至15%，如半导体硅片，其合格品率一般能达到99%以上。质量达到或超过国外同类产品，如日本 FUJIMI公司的PWA和美国Microgrit 的WCA，但是价格只有同类产品的一半，提高了工厂的工作效率，降低了成本。
工艺路线：板状刚玉生产的基本过程为球磨、成球、干燥、烧结。（1）球磨。采用拜耳法轻烧氧化铝粉为原料，进行连续球磨，细度和比表面积需达到一定要求，有助于氧化铝粉的烧结与致密化。（2）成球。磨细后的粉采用成球盘或成球简成球。成型后的坯球需具有一定的强度，避免在运往干燥器的过程中破裂。针对成球过程中半成品球含水量高、易分层、干燥困难等问题进行相应的工艺优化设计，妥善解决。（3）干燥。成形后的坯球进入干燥器内，利用竖窑内的逆流热风干燥除去约15%的水分。但竖窑内的温度要严格控制，以免坯球内部产生裂纹和分层，甚至结块和堵炉等，终造成球流运行中断，干燥质量下降。（4）烧结。坯球干燥后进入竖窑。烧结温度为1900~-1950℃。通过控制竖窑内热风温度及流速，获得发育充分、烧结完全的板状刚玉结构。烧成后经过冷却、捡选（捡出过烧和欠烧制品）、检验（对烧结完全的制品进行物化指标检测）、破碎和筛分后，可以获得不同粒径尺寸的产品。
研究发现，板状氧化铝用作聚合物的填料时，可以增强其热导率。在聚合物中添加一定量的板状氧化铝，可以形成氧化铝网络，该网络能传过大部分热量。板状氧化铝的直径越大，形成网络的节点越少，导热效果越好。
